應(yīng)用領(lǐng)域:
適合于高倍數(shù)電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領(lǐng)域應(yīng)用
產(chǎn)品特點(diǎn):
■富瑞聯(lián)華依托于光電子產(chǎn)業(yè)科研工作人員,研發(fā)制造的一款通用性隔振光學(xué)平臺(tái),能夠滿(mǎn)足精密負(fù)載對(duì)振動(dòng)隔離需求,且面向大多數(shù)設(shè)備儀器提供通用化隔振解決方案,改善振動(dòng)環(huán)境,以發(fā)揮設(shè)備儀器的最佳效能。
■優(yōu)異的隔振性能:內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng),具備優(yōu)秀的固有頻率,對(duì)多個(gè)方向的振動(dòng)尤其是垂直方向有著良好衰減效果,避免外界振動(dòng)干擾設(shè)備儀器精度,提高儀器設(shè)備使用精度和使用效率。
■自動(dòng)調(diào)節(jié)水平功能:放置負(fù)載的位置發(fā)生變化,平臺(tái)迅速通過(guò)高精度閥門(mén)自動(dòng)調(diào)整空氣彈簧內(nèi)部的氣壓,自動(dòng)保持水平。氣動(dòng)元器件全部執(zhí)行德國(guó)FESTO產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn),標(biāo)配優(yōu)質(zhì)超靜音壓縮機(jī)。
■臺(tái)板采用蜂窩芯夾板結(jié)構(gòu),具有重量輕、高剛度、高阻尼等優(yōu)點(diǎn),上面板為1cr17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼,經(jīng)精密研磨處理,平面度高,回旋打磨工藝清除毛邊,達(dá)到無(wú)反射、亞光效果,面板具有M6螺孔陣列,易于固定光學(xué)元件。
■隔振支撐為優(yōu)質(zhì)鋼管焊接而成,整體堅(jiān)固可靠。
■工作壓力為0.35~0.6Mpa,標(biāo)準(zhǔn)配置調(diào)壓過(guò)濾閥將保證空氣彈簧的長(zhǎng)期有效工作,用戶(hù)只需要將氣管連接進(jìn)氣口,就能使裝置正常發(fā)揮隔振功能,氣源可通過(guò)小型空氣壓縮機(jī)或氮?dú)馄抗┙o,便于在安靜場(chǎng)合使用。
技術(shù)指標(biāo):
■平面度:< 0.05mm/m2
■表面粗糙度:< 0.8μm
■固有頻率;x方向:1.0Hz~1.5Hz y方向:1.0Hz~1.5Hz
■減振效率:x方向<5Hz時(shí):88%~94% y方向<5Hz時(shí):86%~92%
x方向<10Hz時(shí):92%~98% y方向<10Hz時(shí):90%~95%
■臺(tái)面內(nèi)部支撐:純蜂窩杯內(nèi)芯支撐結(jié)構(gòu),粘接工藝,無(wú)焊接應(yīng)力;
■蜂窩杯狀芯板:內(nèi)部蜂窩狀芯板采用的是不銹鋼 、鋁板,鍍鋅板等防 腐材料,內(nèi)芯密度≥250kg/m³;
■振幅:< 1μm
■荷載能力:500kg/m2
■重復(fù)定位精度:±0.05mm